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通過基片薄型化降低SiC二極管導通


  SiC基片的厚度以350μm為主流,薄產品也要達到230μm左右。為了進一步減薄厚度,許多大型SiC功率元件廠商都在致力于相關研發。比如,羅姆通過研磨等工序將SiC基片減薄至50μm,并用其試制出了耐壓700V的SiC肖特基勢壘二極管。在SiC相關學會“ICSCRM2013”上,該公司比較了該試制SBD與原來利用230μm厚的基片制造的相同耐壓的SBD的導通電阻值。50μm產品的導通電阻為0.22mΩcm2,減小到了230μm產品的0.48mΩcm2的一半以下。
  三菱電機也利用90μm厚的SiC基片試制了耐壓1.2kV的SiCSBD。該公司在ICSCRM2013發表了相關成果,雖未公布具體的導通電阻值,但與使用約300μm厚的基片制造的相同耐壓的SBD相比,導通電阻減小了0.4mΩcm2。另外,英飛凌也在致力于利用薄型SiC基片的SiC二極管的研發。該公司在2013年5月舉行的功率半導體學會“ISPSD2013”(日本電氣學會主辦)上發表了將基片減薄至110μm的耐壓650V的SiC二極管。
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